463VSA

1. 量测范围 --  X 轴 － 18" (450 mm), Y 轴 － 12" (300 mm), X 轴 － 8" (200 mm)

2.  平台材质 --  4" (100 mm) 花岗岩平台及 7" (175 mm) 花岗岩龙门.

3. X/Y轴驱动方式 --  线性马达 (Linear Motors) + 全气浮轴承 (Air Bearings).

4. X/Y轴移动方式 --  摇杆 (Joystick) + 微调滑球 (Trackball).

5.  X/Y轴移动速度 --  20" (500 mm)/sec. Max.

6.  光学尺解析度 --  0.0001 mm (X/Y/Z).  

7.  量测功能 --  点、线 (线宽,线距)、圆 (圆心坐标、半径、直径)、圆弧、距离、开口槽宽、角度、

8. 高度、槽形、不规则形等等之几何量测.   量测步骤均可Repeat.

9. 程序可编辑、修改、插入、删除.

10. 可加载CNC 鑽孔(Drill)及成型(Rout)之DXF档，编辑转换做自动量测.

11. 可设定量测公差值，做 Pass 或 Fail 判定.

12. 全台面 (量测范围) NLEC 非线性误差补偿.

13. 量测速度 -- ≦ 0.5 秒/点.

14. 量测精度 --  1.5 + 5L/1000 um.   (L = 量测长度).